產(chǎn)品特色：

◆  實(shí)現(xiàn)商業(yè)化生產(chǎn)的大尺寸工業(yè)型原子力顯微鏡

◆  樣品尺寸、重量幾乎不受限制，特別適合晶圓片、超大光柵及光學(xué)玻璃等大樣品檢測(cè)

◆  樣品臺(tái)可拓展性強(qiáng)，非常便于進(jìn)行多儀器聯(lián)用實(shí)現(xiàn)原位檢測(cè)

◆  一鍵式自動(dòng)掃描，可任意編程多個(gè)測(cè)試點(diǎn)實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)化檢測(cè)

◆  掃描圖像時(shí)樣品保持不動(dòng)，驅(qū)動(dòng)探針進(jìn)行XYZ三維移動(dòng)測(cè)量成像

◆  龍門架式掃描頭設(shè)計(jì)，大理石底座，真空吸附式載物臺(tái)

◆  一體化的機(jī)械振動(dòng)減震及環(huán)境噪音屏蔽解決方案，極大降低系統(tǒng)噪音水平

◆  馬達(dá)自動(dòng)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能快速進(jìn)針方式，保護(hù)探針及樣品

◆  掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測(cè)量精度優(yōu)于98%

技術(shù)參數(shù)：